ATM 226 / 228 面向需要把发生端带到现场的验证任务。设备集成压缩机,可直接连接市电工作,减少对外部压缩空气管路的依赖;不锈钢外壳便于洁净环境使用。

ATM 226 侧重移动现场的稳定亚微米发生;ATM 228 在移动能力基础上强化差分喷嘴压力控制与远程控制选项,适合需要可重复设定工作点的现场流程。